當前位置：首頁 > 產品中心 > 芯片加工設備 > 光刻機 > TYG-2000/T2步進投影光刻機

TYG-2000/T2步進投影光刻機

簡要描述：TYG-2000/T2步進投影光刻機，照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈（德國歐司朗）; XYZ汞燈調節(jié)臺; 光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2024-06-04
訪問量：1752

產品咨詢聯(lián)系我們

產品分類

Product Category

芯片加工設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

查看全部

詳細介紹

品牌	其他品牌	價格區(qū)間	面議
儀器種類	微流控芯片系統(tǒng)	應用領域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子

產品名稱：TYG-2000/T2步進投影光刻機

主要技術指標：

曝光場面積：20mm×20mm

分辨力：2μm；

照明不均勻性：±2%

物鏡倍率：2.5倍(縮小)

光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）

基片尺寸：4 英寸

工件臺運動范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；

工件臺運動定位精度：±0.65μm

調焦臺運動靈敏度：1μm

對準精度：±0.5μm

調焦臺運動行程：5mm

檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米

轉動臺行程：±4°以上

基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm

TYG-2000/T2步進投影光刻機主要技術配置：

（1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節(jié)臺; 光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇

（2）工件臺系統(tǒng)：X臺：電機驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵（美國） Y臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵2（美國）轉動臺：電機及驅動器（日本樂孜），轉動軸系調平臺：電機及驅動器（3套）、調平機構 Z臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠、上升導向機構; 承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件

（4）對準系統(tǒng)：對準光學檢測系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對準軟件

（5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、顯示器、接口

（6）其他部件：底座減震器（4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件：真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺（靜音泵）;管道

產品咨詢

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

上一篇：DS-2000/14G型光刻機
下一篇：URE-2000/35型紫外光刻機

日韩无码av黄色直播,av制服丝袜无码一区二区,精品久久久久久午夜,亚洲乱码国产乱码精品精大量

TYG-2000/T2步進投影光刻機

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：